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半导体芯片废气烟尘净化方案

发布日期:2022-09-07浏览次数:105

  半导体芯片废气烟尘净化方案


  半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。


  废气特点:半导体芯片生产线废气具有排气量大、浓度小的特点。


  某某电子厂车间生产的3条线产生的废气来源,处理风量在30000,每条生产线都安装了吸风罩,采用喷淋塔吸收最后进入主管道到达风机排放,该项目从制作到安装总共花了25天周期,验收符合排放标准。


  半导体企业车间会产生酸气,那么半导体酸气处理方法就采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。


电子半导体行业废气处理简单描述



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